Токи в нижней части диапазона мерять - делайте измерительный элемент на кристалле без элементов ESD-защиты (резистор из высокоомного поликремния и усилитель с малюсенькими полевичками на входе, подстройка лазером всего чего можно. А ESD-защита течет как не знаю кто). Только как это потом дальше смонтировать, не спалив - х.з.