с частотой работы дельта-сигма модулятора подключается конденсатор, который затем разряжается. В datasheet сказано, что цепь, подключаемая к REF, имеет импеданс 18.5 Ком на частоте 7.68 МГц. Поэтому входы REF совсем не высокоимпедансные, они обязательно требуют емкостей и опорного источника с малым внутренним сопротивлением. Я попался на том, что поставил в цепь REF небольшой резистор (а за ним была емкость). При переключении частоты работы модулятора меняется среднее потребление входов REF, как следствие, меняется падение на резисторе и АЦП на разных частотах показывает разные значения. Нельзя на REF включать RC-фильтр!