[an error occurred while processing this directive]
Уменя бывало (правда на старых кристаллах, 1200-ом и 103-ей), что каким-то образом в FF-ки стирался ID-код. Если заставить программатор его игнорировать, все шилось ОК. Но то давно было. У Вас скорее всего какая-то кака в цепях программатора.
(«Телесистемы»: Конференция «Микроконтроллеры и их применение»)