HEX, который сохраняет программатор от Silabs, не есть IntelHEX. Там просто цифробуквами байты записаны (типа HEX-формат - 0xF4 записывается как 2 байта букв подряд - 'F' и '4') и на каждый байт исходный запятая и перевод строки. Это чудо в элементе перегоняется в бинарный вид. Исходный же HEX нужно перегонять в bin стандартным Hex2Bin для камней с памятью 64К и меньше, для бОльшей же памяти Keil генерит HEX-386. Разобрать его в нормальный(е) тоже не очень сложно, но опять же потом нужно для проверки перегнать в бинарник.