ультразвуком делают, точности мм достигают но стоит тысячи $-если 1 см то себестоимость сотни баков, диэлькометрические трубки можно применить вроде дешевле, натянутую спец проволочку тоже вибрируют - насчет точности не знаю.
(«Телесистемы»: «Конференция «Микроконтроллеры и их применение»»)
info@telesys.ru