Я мерил импульсы от2Гц до 2 кГц с разрешением 1мкС. Правда я делал на AVR (использовал механиз захвата таймера), а разрядность наращивал программно. Не так уж это и геморно. Хотя, если лень писать программу, можно поставить внешние счетчики (К155ИЕ5 например).
(«Телесистемы»: Конференция «Микроконтроллеры и их применение»)