Отправлено Николай Коровин 08 ноября 2004 г. 09:39 В ответ на: Ответ: (+) отправлено SM 07 ноября 2004 г. 20:34

Как кристаллы чистят, я догадываюсь %) Кстати, пятидесятимикронники вообще одной водой отделываются по сей день %) А еще они ее пьют попутно %)))))
Просто, как нетрудно догадаться, это ОЧЕНЬ несовместимо с глубоким вакуумом... как и плазма кислорода. А тащить его от установки до установки -- пыли наловит, вся прелесть "замкнутой технологии" пропадет...

Диэлектрические пленки можно сформировать по-старинке -- из оксида кремния. Кремний есть, что нужно в него вогнать для получения оксида -- догадываетесь :)
Я ж говорю -- лет 10 еще с ней трахаться, чтобы заработало...