Отправлено POV 08 декабря 2004 г. 14:14 В ответ на: Посоветуйте, каким способом лучше БЕЗКОНТАКТНО мерять растояние от 10 до 100 микрон с наименьшим разрешением и погрешностью? отправлено Alkur 08 декабря 2004 г. 13:25

тут напрашивается что-то интерференционное, но все зависит от типа поверхности - может не обечпечиться условие интерференции опрноголуча с отраженным.
Или тринагуляционный измеритель поставить на основе PSD - точность порядка 10 мкн (как это считается обычно) при оооочень высокой разрешающей способности (зависит от разрядности АЦП).
Такой триангулятор сделали, например, в Новосибирске (см. ссылку). Но в той области где они его применили, он очень плохо себя показал в силу ряда специфических особеннстей.

• http://www.tdisie.nsc.ru/rindex.htm