это делают по другому и при таких расстояниях ничего стабилизировать не надо - досточно обычной стабильности гелийнеонового лазера- т разрешение легко достигается меньше 1 ангстрема - кстати в во всяких AFM в качестве измерителя испоьзуют интерферометр - а не попугаи в виде тока и напряжения пьезо привода - при точностях до 10 нм используют банальный интерферометр белого света с полосовым фильтром
(«Телесистемы»: Конференция «Микроконтроллеры и их применение»)
info@telesys.ru
